| Wafer Size | machine | Vendor | Model | Description | Q;ty |
|---|---|---|---|---|---|
| 200mm | Furnace | TEL | Alpha-808 | 유휴장비 이설(MagnaChip → Hynix M8) | 8 |
| 200mm | Furnace | TEL | Alpha-808 | 중고장비 Install(TSMC → Hynix M7) De-Installation |
5 10 |
| 200mm | Furnace | KE | DD/DJ-804,813 | 유휴장비 매각(Hynix M4 → M8,9) | 20 |
| 200mm | TRACK | TEL | Mark5 Mark7 |
De-Installation De-Installation |
10 5 |
| 150mm | Furnace | KE | DD-802 | Fab 내부 이설 | 12 |
| 200mm | Furnace | TEL | Alpha-808 | Fab 내부 이설 유휴장비 매각(SANYO → SONY) |
5 16 |
| 200mm | TRACK | TEL | Act-8 | 유휴장비 매각(Hynix M4 → Hynix M8) | 15 |
| 200mm | Furnace | TEL KE |
Alpha-801 DJ-835 |
유휴장비 매각(Tech → GMIC) 유휴장비 매각(NEC → TSMC) |
5 3 |
| 200mm | TRACK | TEL TEL |
Act-8 Mark7 |
유휴장비 매각(Hynix M4 → Hynix M8) 유휴장비 매각(Hynix M4 → Hynix M8) |
3 2 |
| 200mm | RTP Furnace |
MATSON KOYO |
AG2800 5300 |
ANNEAL ANNEAL |
2 2 |
| 200mm | Furnace Furnace |
TEL TEL |
Alpha-808 Alpha-808 |
LPCVD FTPS SYSTEM |
7 7 |
| 200mm | Furnace RTP |
TEL MATSON |
Alpha-808 AST2800 |
D-poly ANNEAL |
1 2 |
2010년 영업 실적내역
| Wafer Size | machine | Vendor | Model | Description | Q;ty |
|---|---|---|---|---|---|
| 200mm | Furnace | TEL | VDF615S | Oxide | 1SET |
| 200mm | Furnace | TEL | VDF615S | LP CVD | 1SET |
| 200mm | Furnace | TEL | Alpha-8SE | Oxide & LP CVD | 17SET |
| 200mm | Furnace | TEL | Alpha-8SE | Oxide & LP CVD | 14SET |
2011년 영업 실적내역
| Wafer Size | machine | Vendor | Model | Description | Q;ty |
|---|---|---|---|---|---|
| 300mm | Furnace | TEL | ALPHA 303i | DIFFUSION | 2SET |
| 300mm | Furnace | TERA | 300CU | CU-ANN | 9SET |